300mm EFEM & Vacuum Stage 재조/납품 2-300mm Auto Scanning System(VPD) PVC Parts 제조/납품 2-300mm 용 Load port 제조/납품
2015 ~ 2017
㈜삼성 전기向 PLP Vacuum Stage 재조/납품 ㈜고영테크놀러지 협력업체 등록 및 연구 개발 장비 follow up 에이치제이에스이엔지㈜ 협력업체 반도체 라인 PVC Parts 공급(2차 Vender)
2018 - 2020
신사옥 건축 ㈜티씨케이 법인 설립 ㈜SFA 반도체 협력업체 2-300mm Vac Stage (Proto)개발/납품 Nikon Confocal NEXIV & Handler system(Proto) 개발/납품 2-300mm Auto Scanning System(VPD) 제조/납품 반도체 장비용 약액 배관 및 제조 follow up
2021 ~ 2024
Bulk Etching 용 PTFE Chamber 개발 Warpage 및 ESD 대응 End-effector 개발 2-300mm Warpage 및 ESD 대응 Vac Stage 개발 Nikon Confocal NEXIV & Handler & EFEM system(A-type) 개발/납품 Nikon Confocal NEXIV & Handler & EFEM system(C-type) 개발/납품 Nikon Confocal NEXIV & Handler & EFEM system(S-type) 개발/납품
